전량 수입하던 반도체 세정 나노 필터 국산화…삼성·SK 등에 공급예정

클릭하시면 더 큰이미지를 보실 수 있습니다 반도체 웨이퍼 이미지. 게티이미지뱅크

반도체 수율에 직결되는 나노급 필터
경기 화성에 시노펙스 생산라인 준공
국내 전체수요 충당 가능한 공급능력
정부 R&D에 123억원 지원해 뒷받침




전량 수입에 의존하던 반도체 세정 공정용 나노(nm)급 필터의 국내 생산 공장이 준공됐다. 국내 수요 100% 이상의 생산 능력을 확보함에 따라 향후 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체기업 등에 납품이 이뤄질 것으로 예상된다.

17일 산업통상자원부에 따르면 이날 경기 화성시에서 나노급 필터 생산 기업인 ㈜시노펙스의 동탄 공장 신규 생산 라인 준공식이 열렸다. 반도체 세정 공정용 필터는 반도체 세정용 화학 물질의 불순물을 정제하기 위한 부품으로, 필터 성능이 반도체 수율과 직결된다. 산업부 관계자는 "반도체 선폭의 미세화에 따라 초미세 오염 물질을 제거하는 세정 공정의 중요성이 부각되고 있다"며 "그간 세정 공정의 핵심 부품인 나노급 필터는 전량 수입에 의존하고 있었지만 이번 생산 라인 준공으로 국내 수요 100% 이상의 생산 능력을 가진 공장을 국내에 확보할 수 있게 됐다"고 설명했다.

앞서 국내 반도체 세정 장비업체들은 공급망 리스크 완화를 위해 시노펙스에 기술개발을 요청했다. 이에 시노펙스는 국내 장비업체에 고품질 나노필터 공급을 위한 기술개발에 착수했고 산업부는 ‘소·부·장(소재·부품·장비) 협력모델을 통해 2020~2023년 사이 123억 원 규모의 연구개발(R&D) 등을 신속히 지원, 수요·공급기업의 협력을 뒷받침했다.

이번 생산 라인 준공에 따라 연 1200억 원(1만 개) 규모 나노필터 양산 설비가 구축됐다. 이는 연간 약 1000억 원(약 8000개)의 국내 수요를 100% 충당 가능한 수준이다. 향후 시노펙스는 나노필터를 생산해 STI 같은 세정 장비사 등에 공급하고 이는 삼성전자, SK하이닉스 등에 대한 공급으로 이어진다.

한편 이날 준공식에 이어 열린 ‘반도체 소부장 수요·공급기업 간담회’에서 이승렬 산업부 산업정책실장은 "첨단 산업 경쟁력 확보 및 공급망 강화를 위해서는 수요·공급기업 간 협력이 중요하다"며 "지난 10일 ‘소부장 특별법’ 개정으로 ‘소부장 특별회계’가 5년 연장되고 ‘소부장 및 공급망 안정화 특별회계’로 확대 개편된 만큼 정부는 첨단산업 초격차 R&D 및 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 지속 확대해 나가겠다"고 말했다.

박준희 기자